需求內容及合作目標:
(1)擬解決的技術(項目)問題
本項目主要是申請建設6英寸MEMS產品試制工藝線,以期解決MEMS數字檢波器規(guī)模化生產的瓶頸,提升我國地震裝備研發(fā)制造能力。同時利用申請建設的6英寸MEMS工藝線,進一步研發(fā)高精度MEMS慣性傳感器,用于航天航空、戰(zhàn)術和戰(zhàn)略慣性制導系統(tǒng)(IMU)中,對我國航空航天和國防工業(yè)做出支持和貢獻。
(2)預計解決的方向、方式
工藝線主要產品構想:具有自主知識產權的新型結構MEMS加速度傳感器,包括X型、E型梁、梳齒狀結構。這些新型結構的MEMS加速度傳感器具有結構對稱性好、高階模態(tài)性能優(yōu)異,低頻響應好等特點,能有效消除應力和降低機械噪聲,提高檢測精確度和穩(wěn)定性,可以有效抗動態(tài)沖擊。
現有工作基礎:
三門峽市成義電器有限公司成立于1996年10月,注冊資金3000萬元,總資產8600萬元。是一家民營股份制企業(yè),位于豫、晉、陜三省交界的明珠城市三門峽市工業(yè)園區(qū),占地20畝。主要經營物探儀器的制造銷售及租賃,自產產品進出口業(yè)務。擁有一支專業(yè)從事研制和生產石油物探產品的技術隊伍,產品研發(fā)能力達到國內一流水準。產品制造方面擁有先進的加工、檢測設備。